晶振，虽小，但是作用巨大

跟着经济的发展和社会生活水平的进步，真空镀膜技术在越来越多的领域运用，如何监控淀积的膜厚，目前选用石英晶体振荡监控法和光学膜厚监控法，我司楚晶科技多年来致力于石英晶体振荡器监控法的核心部件晶振片研讨、生产，并总结了一些经验与同仁一起控讨。

1.原理：石英晶体法监控膜厚，主要是使用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层，使晶振片的厚度增加，则晶振片的固有频率会相应的改变。KDS晶振

显然晶体的基频越高,操控的灵敏度也越高,但基频过高时,晶体片会做得很薄,很薄的晶体片易碎,一般选用AT切型频率5～10MHz.选用AT切晶体片,其振荡频率对质量的改变极其灵敏,但却不敏感于温度的改变,具有精度高、灵敏度好等共同的优势,十分适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。

2.产品品种：现在市场上常用的有两种频点,标称频率分别为5.000MHz、6.000MHz,这两种规范我司早已批量生产，规范如下表:

标称频率

根据膜厚操控仪的探头设计不同，选用不同的电极形状如：单锚双锚全双锚

3.电极资料:晶振片的电极对膜厚监控至关重要,目前市场上提供三种规范电极资料:金、银和合金.用户所镀的资料不同,需选用不同的电极资料产品.

金:是很广泛运用的传统资料,它具有低接触电阻,高化学温定性。易于堆积。

镀低应力膜料,如镀Al、Au、Ag、Cu等。

银:适合于镀高应力膜料,如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢等。

银铝合金:适合于镀介质光学膜,MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。

4.运用过程注意事项：

4.1、新的晶振片运用之前应在分析纯中浸泡约1分钟，然后用塑料镊子夹取并用无尘纸或洁净的绸布将分析纯擦洗洁净，一起用蘸有酒精的无尘纸或绸布将晶振座擦洗洁净，拼装晶振片之前用吹气球将晶振片、石英晶振座及探头的接触弹簧上或许残留的尘埃吹掉，任何晶体和夹具之间的颗粒或灰层将影响电子接触，而且会发生应力点，从而改变晶体振荡的形式，晶振片装好后再一次用吹气球吹晶振片的外表，去除散落的尘埃。

 4.2、更换装置晶振片时用摄子挟住晶振片的边缘，不要用手指接触晶振片中心，防止留下油渍，不然会下降晶振片的振荡才能。

 4.3、晶振座通过多次镀膜后其外表会堆积较厚的膜,假如不将其除掉,因为离子轰击发生的反溅射会影响晶振片的测验精度.能够先用喷砂或用打砂纸方法将膜层除掉,之后用酒精浸泡5分钟左右,用超声波超声清洗一下,作用会更好,然后再将其放入110℃烤箱中烘烤15分钟,即可运用。

4.4、在淀积过程中，基频频率可下降量答应2～3%，约几百KHz。若下降太多，振荡器不能安稳作业，发生跳频现象，假如此时持续淀积膜层，就会呈现停振。故晶振片上膜层镀到一定厚度今后，就应该更换新的晶振片。

 4.5、蒸发速率呈现显着反常时必须更换晶振片。

4.6、晶振片的外表显着呈现膜脱落或起皮的现象也需更换。

4.7、坚持满足的冷却水使晶振头温度在20～50度规模作用更佳。

5.晶振片的再使用

5.1、银或银铝合金溶于各种酸，不适合再处理使用，必需彻底除掉晶振片上的膜层和电极，从头寄回我司镀上电极。

5.2、金不溶于硫酸，用户能够自已进行处理，去掉晶振片上膜层，清洗洁净再使用，但重复使用次数不易太多，不然质量安稳性下降影响运用。